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TwisTorr 84 FS 涡轮分子泵

Agilent TwisTorr 84 FS 高真空涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动级技术和安捷伦悬浮轴承,具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动级技术能提高小分子气体(如氢气和氦气)压缩比,从而实现大抽气量和城耐受高前级压力,进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计,变得高效节能,并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动,并能保证最佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,最大程度减少系统停机时间,并能确保长时间稳定性。TwisTorr 84 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计,使得泵无需泵油和维护,能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

  • 创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比,而非常小巧的转子设计则实现了高性能和最小的系统体积。

  • 耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵,从而降低了系统成本和尺寸。

  • 安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动,低噪音,最佳的轴承工作条件,延长泵的使用寿命,实现使用维护成本优化,最大程度减少系统停机时间,并保证长时间稳定的抽气性能。

  • 独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油,实现任意角度安装。

  • 铜制水冷通道(可选) — 可避免腐蚀,优化热传递性能,降低用水量和使用维护成本。

  • 涡轮分子泵应用范例

抽速:
CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置:CFF 2.75 英寸 配置:KF 40 配置:


N2:67 L/s

N2:56 L/s

N2:49 L/s


He:63 L/s/

He:46 L/s

He:38 L/s/


H2:53 L/s

H2:40 L/s

H2:36 L/s


Ar:66 L/s

Ar:57 L/s

Ar:44 L/s

全转速气体流量(使用推荐的前级泵)
风冷 (35 °C)
水冷 (25 °C, 65 L/h)
N2:100 sccm
N2:100 sccm
Ar:70 sccm
Ar:70 sccm


压缩比: N2:≥ 1 × 1011 He:2 × 106 H2:5 × 104 Ar:> 1 × 1011
极限真空*(使用推荐的前级泵) < 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr)


入口法兰 CF 4.5 英寸(外径)
CF 2.75 英寸(外径)
ISO 63
KF40


前级管道法兰 KF 16 NW


转速 81000 rpm(驱动频率 1350 Hz)


启动时间 < 2 分钟


推荐的前级泵 机械:DS 40M-DS 102
干式泵:Agilent IDP-3,SH 110



工作位置 任意位置


操作环境温度 +5 °C 至 +35 °C


空气相对湿度 0 至 90%(非凝缩)


烘烤温度

入口法兰最高温度 120 °C(CFF 法兰)

入口法兰最高温度 80 ℃(ISO 法兰)




润滑油

永久性润滑




冷却要求 风冷:
水冷:
气流温度 +5 °C 至 +35 °C
冷却水温度:+15 °C 至 +25 °C

最低流速:65 L/h (0.30 GPM)

压力:2 至 4 bar(45 至 75 psi)


噪音压力级别(全速运行时距离 1 m 处) 40 dB(A) *


储存温度 -40 °C 至 +70 °C


最高海拔 3000 m


认证 CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求


重量 kg(磅):

泵 ISO 63:
2.5 (5.5)

泵 CFF 4.5 英寸:
3.5 (7.7)

泵 CFF 2.75 英寸:
3.34 (7.35)

泵 KF 40:
2.37 (5.22)

* 平均值 ± 4 dB(A) 标准差



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