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FRG-700/702 皮拉尼反磁控真空规

安捷伦 FRG-700 规为全量程规,在紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 5 x 10-9 mbar 至大气压(3.8 x 10-9 Torr 至大气压)的工作压力和极限压力。带有一个对数模拟输出信号的单一紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。其优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封穿导件。该规管可以在比 FRG-700(法兰处最高 55℃)更高的温度(法兰处最高 150℃)下工作。

主动式真空计选型表

  • 两种测量技术集于一台紧凑、一体化、经济的封装中

  • 测量过程和极限压力从 5 x 10-9 mbar 至大气压(3.8 x 10-9 Torr 至大气压)

  • 一体化、紧凑的规管带有对数模拟输出,可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

  • 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

  • 宽测量范围,从 5 × 10-9 mbar 至大气压

  • 灯丝不易毁坏

  • 优异的启动性能

  • 易于清洁

技术指标 

FRG-700/702 全量程复合规
测量范围5 x 10-9 到 1000 mbar(3.8 x 10-9 到 760 Torr)
准确度± 30 % 读数,典型值
重复性± 5% 读数,典型值
安装方向任意
允许温度(周围环境)操作存储烘烤温度*(皮拉尼)灯丝温度
5 到 55 °C–40 到 + 65 °C150°C120 °C
电源电压在规管处脉动能耗
15 到 30 VDC≤ 1 Vpp≤ 2 W
输出信号(测量信号)电压范围测量范围
0 到 10.5 V1.82 到 8.6 V
电压与压力关系0.6 V/十进制, 对数的
错误信号< 0.5 V(无输入),> 9.5 V(皮拉尼传感器,灯丝断裂)
最小负载阻抗10 kΩ,短路保护
响应时间< 10 ms(当压力大于 10-6 mbar 时),≈ 1000 ms(当压力等于 10-8 mbar 时)
识别规管85 kΩ,参照常见供应
状态仅皮拉尼规模式复合皮拉尼/冷阴极模式LED
0 V(低)15 V到 30(高)绿色 LED 亮即表示高电压开
电气连接FCC 68 应用连接器,8芯,内孔式配件
传感器电缆8 芯加屏蔽
最大电缆长度≤ 50 m
工作电压/电流≤ 3.3 kV/≤ 500 A
暴露于真空中的材料SS,Al2O3,FPM75,Mo,Ni,Au,W
内部体积≈ 20 cm3
重量DN 25 ISO-KF ≈ 700 g,DN 40 CF ≈ 980 g
标准EN 61000-6-2,EN 61000-6-3,EN 61010-1

外形图

FRG-700 系列皮拉尼反磁控规外形图


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