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微调放气阀

安捷伦微调放气阀包括可移动的活塞,其光学级平滑的蓝宝石端面可与金属密封垫可靠密封。这样可以形成完全无摩擦、咬合和偏斜的密封。蓝宝石的位移通过机械增益为 13000 比 1 的螺纹轴杆机构控制。 

  • 用于特种阀门应用

  • 范围从大气压到低于 10-11 torr (mbar)

  • 具有手动和气动型号

  • 在灵敏度 1 x 10-10 std cc/s 的氦质谱检漏仪上检测不到泄漏

  • 最大流导 6 l/m

  • 可烘烤至 450° C


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