微调放气阀

安捷伦微调放气阀包括可移动的活塞，其光学级平滑的蓝宝石端面可与金属密封垫可靠密封。这样可以形成完全无摩擦、咬合和偏斜的密封。蓝宝石的位移通过机械增益为 13000 比 1 的螺纹轴杆机构控制。 

• 用于特种阀门应用

• 范围从大气压到低于 10^-11 torr (mbar)

• 具有手动和气动型号

• 在灵敏度 1 x 10^-10 std cc/s 的氦质谱检漏仪上检测不到泄漏

• 最大流导 6 l/m

• 可烘烤至 450° C