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54 系列全金属 UHV 阀门

安捷伦科技很高兴为您提供与 VAT 合作生产的 54 系列全金属超高真空阀门。这些阀门专为超高真空系统设计,烘烤温度可高达 300 ºC,并且不使用弹性体及低熔融温度金属。阀门可使用标准的六角扳手进行手动操作,不必使用扭矩扳手。由于采用金属密封,这些阀门可以在维护之前,开关上千次。54 系列阀门几乎无需维护,可靠性高,可满足从大气压到低于 10 - 11 torr (mbar) 的真空密封。

  • 专为超高真空 (UHV) 设计的全金属阀门

  • 压力范围从极高真空 (XHV) 到高达 2 bar

  • 在打开和关闭位置可烘烤温度达 300 ℃

  • 独特的 VATRING 密封能提供“金属”接触式密封,维护前可开关 1000 多次。

  • 可以以任意角度安装

  • 可视的位置指示

漏率:阀体,阀座< 1 x 10-10 mbar Is-1
压力范围从极高真空 (XHV) 到 2 bar (abs)
插板处的压力差≤ 2 bar
开启时压差≤ 1 bar 1
寿命≥ 1000 次
烘烤温度 2≤ 300 °C(开启和关闭时)
加热和冷却速度= 60 °C h-1
材料:阀体,机械装置,波纹管AISI 316L (1.4404, 1.4435)
密封:阀盖,插板金属
穿导件波纹管
安装方向任意
阀位指示可视(机械)
流导(分子流)NW 16:5 Ls-1/NW 40:50 Ls-1
闭合力处于机械停止状态时关闭
重量:kg(磅)NW 16: 0.4 (0.9)NW 40:1.9 (4.2)
1) 随着循环次数减少 >1 bar2) 最大值:取决于工作条件和密封材料


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